科氏力氣體質(zhì)量流量控制器

簡要描述：科氏力氣體質(zhì)量流量控制器用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

產(chǎn)品型號(hào)：
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間：2024-06-25
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詳細(xì)介紹

品牌	其他品牌	價(jià)格區(qū)間	面議
產(chǎn)品種類	其他	介質(zhì)分類	氣體
產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,石油,能源,綜合

科氏力氣體質(zhì)量流量控制器概述：

◆管狀分流，不易堵塞
◆適用于各種低壓和高壓管道
◆預(yù)熱時(shí)間短，零漂小，可靠性高
◆數(shù)字量輸入/輸出可使用二次表或流量計(jì)算機(jī)控制和顯示流量

基本原理為：一根兩端固定的薄壁測量管，在中點(diǎn)處以測量管諧振或接近諧振的頻率（或其高次諧波頻率）所激勵(lì)，此時(shí)，在管內(nèi)流動(dòng)的流體產(chǎn)生科里奧利力，使測量管中點(diǎn)前后產(chǎn)生方向相反的撓曲，撓曲的大小與流體的質(zhì)量流量成正比。因此，用光學(xué)或電磁學(xué)的方法檢測測量管的撓曲量，就可以求得管內(nèi)流體的質(zhì)量流量。

應(yīng)用行業(yè)：

玻璃行業(yè)	太陽能	大氣監(jiān)測	工業(yè)制作	石油石化
煤炭冶金	制氣配氣	環(huán)保	各種儀器分析

科氏力氣體質(zhì)量流量控制器參數(shù)：

量程范圍	100SCCM～30SLM
測控范圍	量程比50:1
準(zhǔn)確度	±1.0%F.S
線性	±0.5%F.S
重復(fù)精度	±0.2%F.S
響應(yīng)時(shí)間	<2s
數(shù)字量	RS232/485，MODBUS協(xié)議
模擬量	0～5V、4-20mA、1～5V
供電	±15VDC，24VDC
工作溫度	0～50℃
工作壓力	工作壓差：0.05~0.5Mpa
最大耐壓	3MPa/10MPa
電氣連接	DB15孔
漏率	1×10-9SCCSHe
溫度系數(shù)	±0.025%F.S/℃
底座材質(zhì)	不銹鋼
密封材質(zhì)	氟橡膠，氯丁橡膠，丁腈橡膠
接頭	φ3，φ6，1/8"，1/4"