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當前位置:首頁 > 產品中心 > 質量流量控制器 > 氣體質量流量控制器
  • 氣體流量控制器
    氣體流量控制器

    更新時間:2024-06-25

    型號:

    瀏覽量:1359

    氣體流量控制器支持數(shù)字量輸入/輸出,設備自體可帶多功能觸摸顯示屏,亦可采用流量計算機控制和顯示流量,可以提供帶有可選配的多介質/多量程的功能。
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  • GRYLLS 5950高精度質量流量控制器
    GRYLLS 5950高精度質量流量控制器

    更新時間:2024-08-06

    型號:GRYLLS 5950

    瀏覽量:2757

    GRYLLS 5950系列高精度質量流量控制器參數(shù) 0.5sccm – 6000 slm 全量程Grylls5950系列質量流量控制器支持數(shù)字量輸入/輸出,設備自體可帶多功能觸摸顯示屏,亦可采用流量計算機控制和顯示流量,可以提供帶有可選配的多介質/多量程的功能。
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  • 5901熱式GRYLLS格里爾斯氣體測試質量流量控制器
    5901熱式GRYLLS格里爾斯氣體測試質量流量控制器

    更新時間:2024-07-11

    型號:5901熱式

    瀏覽量:3605

    GRYLLS格里爾斯氣體測試質量流量控制器 采用熱式原理,預熱時間短,精度高,零飄小,管狀分流,不易堵塞,適用于各種低壓和高壓管道,流量可達6000SLM,并可實現(xiàn)數(shù)字/模擬控制模式,產品采用高速控制算法,0.5sccm – 6000 slm 全量程,支持數(shù)字量輸入/輸出,設備自體可帶操控按鍵和顯示屏。
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  • 5900熱式Grylls格里爾斯熱式質量流量控制器
    5900熱式Grylls格里爾斯熱式質量流量控制器

    更新時間:2024-08-06

    型號:5900熱式

    瀏覽量:4126

    Grylls格里爾斯熱式質量流量控制器,熱式原理, 0.5sccm – 6000 slm 全量程,支持數(shù)字量輸入/輸出,設備自體可帶操控按鍵和顯示屏,亦可采用流量計算機控制和顯示流量,可以提供帶有可選配的多介質/多量程的功能。預熱時間短,精度高,零飄小,管狀分流,不易堵塞,適用于各種低壓和高壓管道,流量可達6000SLM,并可實現(xiàn)數(shù)字/模擬控制模式。
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  • GRYLLS5900格里爾斯質量流量控制器
    GRYLLS5900格里爾斯質量流量控制器

    更新時間:2024-08-06

    型號:GRYLLS5900

    瀏覽量:4812

    格里爾斯質量流量控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制,在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括:電子工藝設備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
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  • 5920氣體質量流量控制器
    5920氣體質量流量控制器

    更新時間:2024-06-25

    型號:5920

    瀏覽量:1554

    氣體質量流量控制器采用毛細管傳熱前后溫度差量熱法原理測量氣體的質量流量,不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大,然后與設定的電壓進行比較,用所得的差值去驅動控制調節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
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  • 5950高精度質量流量控制器
    5950高精度質量流量控制器

    更新時間:2024-06-25

    型號:5950

    瀏覽量:1379

    GRYLLS(格里爾斯)高精度質量流量控制器由質量流量傳感器,層流分層件,流量控制器調節(jié)閥和放大控制電路等部件組成,它利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成。
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  • 質量流量控制器
    質量流量控制器

    更新時間:2024-06-25

    型號:

    瀏覽量:1382

    Grylls8100科氏力質量流量控制器 將這項技術應用于非常低的流量測量,并且內部集成PID控制器和批量功能,實現(xiàn)流量控制或者定量給料。
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